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压电陶瓷电机 |
● 重量轻、体积小 ● 定位精确,可至10nm ● 速度之动态变化范围宽广 ● 标准应答时间为50~75μsec ● 无限行程 ● 高分辨率 ● 外型轻巧 ● 断电定位保持 ● 快速移动与定位 ● 直接驱动 ● 无迟滞现象 ● 反应快速 ● 不产生磁场 ● 不受外部磁场干扰 ● 运动速度平稳,最低10nm/sec ● 可选购真空型电机 |
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● 整定时间显著优于伺服电机,以0.1μ的分辨率为例,只需1~2msec,为一般伺服电机的1/10 ● 定位后没有一般伺服电机晃动的问题,适用于光纤、显微镜、图像处理及各种精密定位运动
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